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為什么半導體芯片行業對純水中的溶氧參數有高要求?
點擊次數:1980 更新時間:2024-08-28

      純水作為實驗室廣泛使用的一種溶劑,水質的重要性已經越來越為實驗室工作人員所關注。

      關于水中污染物的種類,大家已經基本熟知,關于水質的指標,大家對于電阻率,TOC可能也不陌生,但要提到水中含氧量這個參數,大家卻不一定都了解。隨著技術發展以及對一些專業領域認知的提升,水中含氧量其實已經成為一個不容小覷的關鍵性參數。

      通常,水中氣體雜質為二氧化碳、氧氣、氮氣、惰性氣體等,即便是通過超純水機層層純化,水中的氣體依然會存在殘留;并且由于超純水的高度溶解性,特別容易吸收環境中無處不在的氣體物質,比如氧氣等。雖然在純水中氣體含量不高,但對于一些特殊應用,純水中溶解氧指標還是至關重要的。

      溶解氧顧名思義就是溶解在水中的氧分子,通常用DO表示。溶解氧的飽和度和溫度、壓強有很大的關系,在25℃時,1個標準大氣壓下,飽和溶解氧的濃度是8.25 mg/L。通常我們會使用溶氧儀檢測溶解氧濃度,檢測方法主要有兩種:電流測定法和熒光猝滅法。

      廣受關注的半導體芯片領域 ——芯片在光刻前需要清洗硅晶圓,去除污染物去除顆粒、減少針孔和其它缺陷,提高光刻膠黏附性。清洗使用的超純水中,溶氧過高影響芯片的氧化膜的厚度,進而影響芯片的性能。美國材料協會對于電子和半導體工業所需要的純水給出了嚴格的標準,《ASTM D 5127-13, Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》中對要求最高的Type E-1級純水的溶氧指標進行了規定。

為什么半導體芯片行業對純水中的溶氧參數有高要求?


      水中溶解氧過高容易使管路內及儲水箱等的純水滋生細菌,并帶來一系列的危害;其次,影響芯片的氧化膜的厚度,進而影響芯片的性能。這就是為什么半導體芯片行業中對純水中的溶氧參數有特殊的要求。

      作為電子信息產業支柱的芯片行業一直被稱為我國科技產業的軟肋,現在國家已經正式出手,加大投資,助力中國芯片產業的發展。從目前的行業布局來看,未來這個領域挑戰與機遇并存,有巨大的發展潛力。相信隨著“中國芯"的爆發與突破,未來純水標準中關于溶氧指標的相關規定一定會應運而生。

      目前關于實驗室純水規格及試驗方法已經出臺了很多的標準  - 《GB/T 6682-2008 分析實驗室用水規格和試驗方法》;《GB/T 33087-2016 儀器分析用高純水規格及試驗方法》, 《中國藥典》等,對于電阻率,總有機碳等指標做了明確界定,但對于純水中溶解氧等氣體雜質的含量要求卻鮮有涉及。隨著各行各業的深入發展,未來對實驗室分析檢測的要求也會越來越細化,相信不久的將來,國內的純水標準也會增加相關的項目。今后用戶要求的水質報告,可能也不僅僅只是電阻率,TOC值,重金屬含量了,會要求越來越完善,溶氧度,pH……一份全面的水質報告,才能讓用戶對自己的工作全面掌控。

      目前國際上純水在線溶解氧檢測器的主要生產廠家包括梅特勒托利多(METTLER TOLEDO)和賽默飛(Thermo Fisher)。樂楓生物推出的Genie/Super-Genie系列純水系統,采用Linux操作系統,打造了一個開放式的平臺。通過1+N 模式,一臺水機可連N 個在線傳感器,比如溶氧測試、pH 計、濁度分析等,這些檢測數據可以傳輸并顯示在主控屏上,為用戶生成一份完整的水質報告,同時還可降低企業設備更新或購買新設備的成本。可以說,帶有前瞻性設計的Genie/Super-Genie純水機,適合實驗室個性化和未來發展的需要,是可以自我進化的純水設備。

為什么半導體芯片行業對純水中的溶氧參數有高要求?


關于樂楓生物

      樂楓生物(Rephile Bioscience,Ltd.) 是多寧集團下屬的一家專業從事水純化和實驗室分離純化產品研發、設計和制造的企業,為高科技生物技術和生命科學領域的用戶服務。樂楓公司著眼于全球發展,在中國、美國、法國、印度、南非等近20個國家建立了銷售機構,同時也為國際大型公司提供OEM和ODM,產品銷往包括歐美日韓等100多個國家,多所美國常春藤大學、哈佛醫學院丹娜法伯癌癥研究院,約翰霍普金斯大學醫學院和賓夕法尼亞大學醫學院都是樂楓純水設備的用戶。成立十余年,樂楓持續投入研發,創立出了自己的產品品牌RephiLe(瑞楓),推出了多個新概念產品 - 無線連接的Genie系列純水系統和智能型大流量純水工作站Super-Genie等。目前樂楓提供包括低鎂型,低硼型,ICP-MS專用型等適用于各種應用的全范圍超純化柱系列,也提供多款密理博純水系統的兼容耗材,讓國產的品牌為用戶提供可與進口產品媲美的服務。




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